三室及多腔室磁控濺射鍍膜設(shè)備:
三室磁控濺射鍍膜機(jī)是一款高兼容性設(shè)備,采用反應(yīng)濺射模式,適合做菲林(NCVM)、車載(AR)、3D車載(AR),以及AR+AF.??芍苽銷B2O5、SIO2 、SI3N4、SIH、Cr、In等不同膜層, 兼容3D 異型車載玻璃。
◆工件轉(zhuǎn)動(dòng):1~120r/min無極可調(diào)
◆極限真空:<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸:
HD-SCK1600有效濺射高度850mm
HD-SCK1800有效濺射高度1250mm
HD-SCK1800有效濺射高度1500mm