三室磁控濺射鍍膜機(ICP離化型式):
三室磁控濺射鍍膜機是一款高兼容性設備,采用ICP 后離化模式,鍍膜效率高,適合做菲林(NCVM)、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識等產品??芍苽銷B2O5,SIO2 ,SI3N4,SIH,Cr,In等不同膜層,鍍膜工藝室不破空,穩(wěn)定性重復性優(yōu)異,采取整鼓平移連續(xù)的方式,省去抽放氣時間,極大提高生產效率。兼容3D異型車載玻璃。
◆工件轉動:1~120r/min無極可調
◆極限真空:<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸:
HD-SCK1600-ICP有效濺濺射高度850mm,
HD-SCK1800-ICP有效濺射高度1250mm.
HD-SCK1800H-ICP有效濺射尺寸1500mm