HD-SCK1600-ICP實(shí)驗(yàn)平臺特點(diǎn):,
◆由CM1進(jìn)片腔(前處理室)+CM2工藝腔(光學(xué)成膜腔)+ CM3(AF成膜室)組成;各腔可靈活切換工藝配置,適合復(fù)雜工藝研發(fā)設(shè)計(jì)制作
◆適合做菲林(NCVM)、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識別,可AR+AF、NCVM+AF一次成膜。
◆成膜方式:磁控濺射ICP后離化鍍膜
◆載具掛板可異型設(shè)計(jì),制作異型樣品
◆可以完成在玻璃、陶瓷、PC板、菲林基底上制成光學(xué)膜、顏色膜、硬質(zhì)膜層、AF膜,實(shí)驗(yàn)應(yīng)用于手機(jī)蓋板、攝像頭,智能家居、智能穿戴,車載顯示等鍍膜工藝的膜系系設(shè)計(jì)開發(fā),設(shè)備軟、硬件研發(fā)測試。