四室及多腔室磁控濺射鍍膜設備:
HD-SSCK1600-ICP是一款高兼容性設備,主要生產AR+DLC+AF ,NCVM+DLC+AF,同時可兼容菲林(NCVM)、車載、攝像頭超硬AR、IR-CUT等濾光片、人臉識別等產品。
設備鍍膜工藝室不破空,功能鍍膜腔體分離,互不污染,穩(wěn)定性重復性優(yōu)異,采取整鼓平移連續(xù)的方式,省去抽放氣時間,極大提高生產效率。
◆工件轉動:1~120r/min無極可調
◆極限真空:<2.0E-4Pa
◆膜層均勻性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
◆有效鍍膜尺寸:Φ1600mm*H800
◆特點:四個功能腔室,互不污染,單腔體實現功能可做模塊化調整。
◆標準配置:CM1:前處理室(plasma),CM2:光學鍍膜室(AR、NCVM等),CM3室:DLC 鍍膜室,CM4室:AF 蒸發(fā)室
◆優(yōu)勢產品:AR+DLC+AF; NCVM+DLC+AF 鋼絲絨耐磨5000次水滴角大于100度,莫氏硬度>8(500g)